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969-9883

更新时间： 2024-01-05 05:50:09

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969-9883 数据手册

Agilent TwisTorr 84FS Split Flow

Datasheet

Side Port Pumping Speed

Main Port Pumping Speed

60,0

50,0

40,0

30,0

3,5

2,5

1,5

20,0

Nitrogen

Nitorgen

Helium

Argon

Helium

10,0

Argon

0,5

0,0

1,00E-08

1,00E-07

1,00E-06

1,00E-05

1,00E-04

1,00E-03

1,00E-02

1,00E-01

1,00E+00

1,00E-03

1,00E-02

1,00E-01

1,00E+00

Side Port Pressure (mbar)

Main Port Pressure (mbar)

Main/Side Port Compression Ratio

Main Port vs Foreline Compression Ratio

1,0E+11

1,0E+10

1,0E+09

1,0E+08

1,0E+07

1,0E+06

1,0E+05

1,0E+04

1,0E+06

1,0E+05

1,0E+04

1,0E+03

1,0E+02

Main Port Nitrogen

1,0E+03

Nitrogen

Helium

Argon

1,0E+01

1,0E+02

1,0E+01

1,0E+00

Main Port Helium

Main Port Argon

1,0E+00

1,0E-03

1,0E-02

1,0E-01

1,0E+00

1,0E-02

1,0E-01

1,0E+00

1,0E+01

1,0E+02

Side Port Pressure (mbar)

Foreline Pressure (mbar)

Side Port vs Foreline Compression Ratio

1,0E+06

1,0E+05

1,0E+04

1,0E+03

1,0E+02

Side Port Nitrogen

Side Port Helium

1,0E+01

Side Port Argon

1,0E+00

1,0E-02

1,0E-01

1,0E+00

1,0E+01

1,0E+02

Foreline Pressure (mbar)

123

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